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掲載タイトル: 半導体光デバイス、半導体光源、光集積回路、及び半導体光デバイスの製造方法
発明の名称: 半導体光デバイス、半導体光源、光集積回路、及び半導体光デバイスの製造方法
登録番号: 特許第6940866号
権利者: 国立研究開発法人情報通信研究機構

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