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掲載タイトル: 高誘電性ナノシート積層体、高誘電性ナノシート積層体、高誘電体素子、および高誘電体薄膜素子の製造方法
発明の名称: 高誘電性ナノシート積層体、高誘電性ナノシート積層体、高誘電体素子、および高誘電体薄膜素子の製造方法
登録番号: 特許第5885150号
権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構

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