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掲載タイトル: 化合物半導体、コンタクト構造、半導体素子、透明電極、化合物半導体の製造方法及びスパッタガン
発明の名称: 化合物半導体、コンタクト構造、半導体素子、透明電極、化合物半導体の製造方法及びスパッタガン
登録番号: 特許第6788302号
権利者: 国立研究開発法人科学技術振興機構

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