マイクロノズル装置

東京都公立大学法人

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この技術でできること

金属ナノワイヤ形成中に起こるノズル閉塞を自動防止。複数液の同時吐出と閉塞抑制液の循環で、微細加工・ナノ材料生産を安定化させる次世代マイクロノズル技術です。

相談したいこと

技術の特徴

本特許（JP 2023-032083 A）は、長時間連続で金属ナノワイヤを形成できるマイクロノズル装置に関するものです。従来のナノワイヤ生成装置では、反応液や金属溶液がノズル先端で固化し、吐出口が閉塞してしまう問題がありました。本発明のマイクロノズル装置は、3本以上の吐出用毛細管と1本以上の吸引用毛細管を備え、各管が異なる役割を持つ点が特徴です。
少なくとも1本の吐出管は金属化合物を含む金属溶液を供給し、別の吐出管からはその溶液と反応して金属を析出させる反応液を噴出。さらに、他の吐出管からは閉塞抑制液を吐出し、吸引側の毛細管で反応残液を吸引しながら固形物生成を防止します。これにより、ノズル内の閉塞を抑え、ナノワイヤを長時間安定して連続形成することが可能になります。本技術は、微細電子部品、ナノ構造触媒、導電材料など、ナノスケール製造分野における生産性と信頼性を大幅に向上させるものです。

AIによる特許活用案

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閉塞しにくい構造のため、細線配線プロセスの安定性向上に貢献。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2021-137979
発明の名称: マイクロノズル装置
出願人／権利者: 東京都公立大学法人
公開番号: 特開2023-032083
登録番号: 特許第7660892号

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