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マルチフィンガー半導体構造

学校法人金沢工業大学

マルチフィンガー半導体構造
掲載画像・学校法人金沢工業大学

この技術でできること

PNBT SOI-FETを並列接続してもId-Vg特性が乱れない。ボディコンタクト一体化構造で、アナログ信号にも強い高信頼トランジスタ技術です。

技術の特徴

本特許(JP 2023-028725 A)は、PNBT SOI-FET(Silicon-On-Insulator Field-Effect Transistor)を並列接続しても特性乱れを防ぐマルチフィンガー半導体構造に関するものです。従来、複数のSOI-FETを並列接続すると、各トランジスタのボディ電位がわずかに異なるため、しきい値電圧(Vth)やId-Vg特性にばらつきが発生し、アナログ特性や電流マッチング精度が劣化する課題がありました。本発明の構造では、各単位半導体構造(1A, 1B, 1C, …)が、ソース・ドレイン・第1ゲート・ボディコンタクト部を有し、そのボディコンタクト部とソース/ドレイン間に、反対型の半導体層を設ける構成を採用。この半導体層を介して全フィンガーのボディを一体化することで、ボディ電位を均一化し、Id-Vg特性の乱れを防止します。結果として、複数トランジスタを並列動作させる高出力回路でも、安定した特性と低リークを両立可能。高精度アナログICやRF回路、低消費電力CMOS設計に有効な構造です。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2021-134599
発明の名称
マルチフィンガー半導体構造
出願人/権利者
学校法人金沢工業大学
公開番号
特開2023-028725
登録番号
特許第7654256号
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