加工方法及び加工装置
国立大学法人 熊本大学
この技術でできること
液体や研磨剤を使わず、アルゴンガスのみで単結晶ダイヤモンドを滑らかに研磨。装置構成を簡素化しつつ、高能率・高精度加工を両立する革新的な技術です。
相談したいこと
技術の特徴
本特許（JP 2022-132888 A）は、アルゴンガスを用いたダイヤモンドなどのドライ研磨方法およびその装置に関する発明です。従来のダイヤモンド加工では、液体研磨剤やスラリーを使用するウェット研磨が主流でしたが、加工残渣の除去や装置汚染、さらには化学的影響による品質低下が課題となっていました。本発明では、石英製の定盤（2）と単結晶ダイヤモンド（3）を接触させ、その接触部にアルゴンガスを供給するアルゴンガス供給部（5）を設けた構成を採用。ガスフローによって加工屑の除去と摩擦制御を同時に行い、熱的ダメージを抑制しながら滑らかな表面仕上げを実現します。装置は簡易構成でありながら、従来法に比べて高能率かつ高精度な加工性能を発揮し、特に高硬度材料の微細研磨に適します。液体を用いないため環境負荷も低く、精密光学部品や半導体基板などの分野での応用が期待されます。
関連キーワード
AIによる特許活用案
半導体用基板のドライ研磨装置
薬液を使わず、アルゴンガスで鏡面仕上げを実現。
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
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権利概要
- 出願番号
- 特願2021-031608
- 発明の名称
- 加工方法及び加工装置
- 出願人／権利者
- 国立大学法人 熊本大学
- 公開番号
- 特開2022-132888
- 登録番号
- 特許第7654244号