平面型熱電変換素子、および、その製造方法

国立研究開発法人物質・材料研究機構

この技術でできること

“平らな構造”で、発電デバイスを作りやすく。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、微細加工プロセスに適した平面型の熱電変換素子およびその製造方法に関する技術である（1頁要約参照）。本発明では、絶縁性基板上に第1および第2の熱電薄膜を配置し、それらを電極で接続した平面構造を採用する。特に第1の熱電薄膜は、マグネシウム系熱電半導体膜とその上に形成されたシリコン窒化膜から構成される。図に示されるように、従来の立体的な構造ではなく平面上に素子を配置することで、半導体プロセスなどの微細加工技術との親和性が高まり、製造の効率化や小型化が可能となる。IoT機器やセンサー電源など、小型エネルギー回収デバイスとしての応用が期待される熱電変換技術である。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 熱電変換半導体プロセス薄膜デバイス

IoTデバイス電源

微小な温度差から電力を得るセンサー用電源として活用。

続きの活用案は会員限定です

無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。

参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2021-103708
発明の名称: 平面型熱電変換素子、および、その製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号: 特開2023-002885
登録番号: 特許第7627034号

登録情報の修正申請