高精度集光, 次世代のレーザー技術

国立大学法人電気通信大学

東京都調布市調布ケ丘１丁目５−１

この技術でできること

本発明は、レーザー光の高精度集光を可能にする新しい光学素子装置に関して述べています。

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、レーザー光の回折集光方法及びこれに関連する光学素子装置について説明しています。特に、光を共鳴的に吸収する分子を含む気体（例えばオゾンを含むガス）と、波長230から270nmの紫外パルスレーザーを使用しています。このシステムは、レーザー光の射出角度を可変に制御し、レーザー光を特定の領域に焦点を当てることが可能です。さらに、光励起手段における集光光学系及び発散光学系は、距離の調整が可能であり、レーザー光が通過する開口を有する遮蔽板が備えられています。これにより、高強度のレーザー光を高精度に集光し、効率的で精密な加工を実現します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 光学機器製造業半導体製造業医療機器製造業

"次世代の精密加工"

この技術は、半導体や精密部品の製造において、高精度なレーザー加工を可能にします。距離調整が可能な光学系を用いて、レーザーの焦点位置を精密に制御し、微細なパターンを加工することが可能です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2019-237955
発明の名称: レーザー光の回折集光方法及び回折集光光学素子装置
出願人／権利者: 国立大学法人電気通信大学
住所: 東京都調布市調布ケ丘１丁目５−１
公開番号: 特開2021-105693
登録番号: 特許第7360159号

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