高精度かつ効率的な電子銃と電子機器への革新的なアプローチ

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

真空を破ることなく電子ビームの照射位置を調整できる電子銃と電子機器

相談したいこと

技術の特徴

本特許では、電子銃と電子機器の新たな設計と機能について説明しています。この電子銃は、第1と第2の球冠状のシェルを備えたステージを特徴とします。また、ナノワイヤエミッタを用いて、電子ビームを端部から発するように設計されています。これにより、電子ビームの照射位置を調整することが可能となり、真空を破ることなく作業を続行することが可能です。さらに、この電子銃は、金属材料、ゴム系材料、および熱可塑性エラストマー材料からなる材料で形成されるベロースズ形状の伸縮部を備えています。本特許で説明される技術は、電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、オージェ電子分光器、電子エネルギーロス分光器、エネルギー分散型電子分光器など、様々な電子機器に適用可能です。

AIによる特許活用案

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高精度な電子顕微鏡の開発

本発明を用いて、電子ビームの照射位置を細かく調整できる電子顕微鏡を開発することで、より高精度な観察が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2019-226978
発明の名称: 電子銃および電子機器
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2021-096942
登録番号: 特許第7347796号

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