革新的なスパッタ粒子防止技術を備えたイオンビームスパッタ装置

日本放送協会

この技術でできること

スパッタ粒子の防着を実現する板状部材を内蔵したイオンビームスパッタ装置

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、スパッタ粒子の防着を可能とする新たなイオンビームスパッタ装置に関するものである。具体的には、板状部材を内部に有し、その板状部材が特定の位置に形成されることでスパッタ粒子の防着を実現している。また、装置は複数のスパッタターゲットを保持するターゲットホルダと、選択したスパッタターゲットにイオンビームを照射するイオン源、そしてスパッタ粒子防着板の移動機構を制御する制御部を備えている。制御部は、特定の操作順序を通じて装置の機能を最適化する。これにより、精度と効率性を向上させ、製造プロセスの改善を実現する。

AIによる特許活用案

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半導体製造業界では、微細な粒子の付着は大きな問題となります。この技術を活用することで、スパッタ粒子の防着を可能とし、製造プロセスの精度と効率性を向上させることができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2019-150161
発明の名称: スパッタ粒子防着板及びイオンビームスパッタ装置
出願人／権利者: 日本放送協会
公開番号: 特開2021-031697
登録番号: 特許第7360845号

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