革新的なプラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜とその製造法

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

高い温度耐性とプラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜の製造法を提供します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、プラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜及びその製造方法に関するものです。プラズモン特性を有する六ホウ化ランタン膜は、高い温度耐性と連続性を持ち、さらに光学特性と平坦性も優れています。製造方法は、基板上に膜を成膜する電子ビーム法を使用し、特定の条件下で成膜を行います。具体的には、基板温度410℃で、成膜中に1.0~5Pa以下の圧力下で、2.5A/秒~8.5A/秒の堆積速度で膜を形成します。これにより、プラズモン材料としての性能を高めつつ、製造プロセスを効率化し、製品の品質を向上させることが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体産業光学産業研究・開発

高温環境での光デバイスの開発

本特許の技術は、高温環境でも安定した性能を持つ光デバイスの開発に活用できます。具体的には、プラズモン特性と高温耐性を持つ六ホウ化ランタン膜を使用して、高温での使用に適した光センサーや光スイッチなどのデバイスを開発することが可能です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2019-043931
発明の名称: 六ホウ化ランタン膜及びその製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2020-148821
登録番号: 特許第7347778号

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