ポリイミド微細構造体の効率的な製造方法

国立大学法人静岡大学

静岡県浜松市中央区城北３－５－１

この技術でできること

レーザ光を用いてポリイミド微細構造体を板状部材上に微細化する製造方法。

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、板状部材上にポリイミド微細構造体を形成する新たな製造方法を提供します。具体的には、ポリイミド前駆体を含む加工用の膜を板状部材上に形成し、さらに所定の照射パターン及び強度でレーザ光を照射することで、光反応により加工用の膜をイミド化します。最後に、加工用の膜のうちの残余のポリイミド前駆体を除去します。これにより、照射パターンに従って形成されるポリイミドを十分に微細化することが可能となります。また、形成ステップでは、下地膜上に加工用の膜を形成することも可能で、柔軟性を有する下地膜上にポリイミド微細構造体を形成することができます。

AIによる特許活用案

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高精度部品の製造

この技術を活用することで、高精度なポリイミド微細構造体を効率的に製造することが可能となります。これは、精密機器や電子部品の製造において有用です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-155259
発明の名称: ポリイミド微細構造体の製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人静岡大学
住所: 静岡県浜松市中央区城北３－５－１
公開番号: 特開2020-029501
登録番号: 特許第7233679号

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