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高精度な位置決定を可能にする革新的なベローズ式ダンパ

株式会社ミツトヨ

神奈川県川崎市高津区坂戸1-20-1

この技術でできること

粘性流体の流動抵抗を利用して振動を減衰させるベローズ式ダンパの特許です。

技術の特徴

本特許は、粘性流体の流動抵抗を利用して振動を減衰させるベローズ式ダンパに関するものです。特に、精密測定機器や半導体製造装置などにおける精密位置決定機構に利用可能な高性能なダンパを提供します。このダンパは、内部の作動オイルをフランジ部材のオリフィスを通過させることで振動減衰の対象部材に減衰能を与えます。また、フランジ部材と端部材との間での摩擦を避ける設計により、長期間の使用でもダンパの性能を維持できます。これにより、粘性ダンパが引き起こす問題を解決し、高精度な位置決定を可能にします。

関連キーワード

ベローズ式ダンパ振動減衰精密位置決定粘性流体高性能ダンパ

AIによる特許活用案

おすすめ業界 精密機器製造半導体製造自動車産業

精密機器の振動防止

本特許のベローズ式ダンパは、精密測定機器の振動を効果的に減衰させることができます。これにより、振動による測定誤差を最小限に抑え、より精度の高い測定結果を得ることが可能になります。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号
特願2018-092859
発明の名称
ベローズ式ダンパ
出願人/権利者
株式会社ミツトヨ
住所
神奈川県川崎市高津区坂戸1-20-1
公開番号
特開2019-199880
登録番号
特許第7128027号
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