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自重による落下を防ぐ真空チャック用オートバルブ

株式会社ミツトヨ

神奈川県川崎市高津区坂戸1-20-1

この技術でできること

対象物の吸着を安定化させる真空チャック用オートバルブで、球体が自重で落下して流路を開放する問題を解消しています。

技術の特徴

この特許は、対象物の吸着を安定化させる真空チャック用オートバルブに関するものです。このオートバルブは、球体が自重で落下して流路を開放するという特許文献1に記載の真空吸着装置の問題を解消しています。特に、真空吸着装置の向きによって球体の位置が安定せず、流路を開放すべきであるのに塞いだままの状態になるという問題を解決しています。また、特許文献2に記載の真空チャックテーブルの問題も改善しており、バルブの開口の径が大きすぎて薄い対象物が開口の中央に向けて凹むように変形してしまうという問題を解消しています。これにより、対象物に対する加工をより正確に行うことが可能になります。

関連キーワード

真空チャックオートバルブ流路開放吸着安定化対象物加工

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精密な対象物の加工

このオートバルブは、加工の精度を向上させるために使用することができます。特に、薄い材料やデリケートな材料の加工において、対象物が開口の中央に向けて凹むという問題を解消するため、より正確な加工が可能になります。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2018-088118
発明の名称
真空チャック及び真空チャック用オートバルブ
出願人/権利者
株式会社ミツトヨ
住所
神奈川県川崎市高津区坂戸1-20-1
公開番号
特開2019-193958
登録番号
特許第6811206号
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