空間分解能に優れた結晶格子面方向分布測定法

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

高精度な単色X線を用いて結晶格子面方向の分布を高解像度で測定する方法。

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、単色で平行なX線を使用して結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を測定する方法です。試料の結晶軸の方向に沿った2以上の方位からX線を照射し、ブラッグ反射光を検出します。この方法では、面内各部のブラッグ反射X線強度を高速に測定し、その結果をもとに結晶格子面方向分布を算出します。これにより、微細な結晶製品の製造や品質評価に必要な詳細な情報を提供できます。

AIによる特許活用案

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高品質な半導体デバイスの製造

本発明を用いることで半導体デバイス製造時の結晶格子の詳細な情報を得ることが可能となり、これによりデバイスの特性に影響を及ぼす格子歪や欠陥の観察、改善が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-083268
発明の名称: 結晶格子面分布測定方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2019-190965
登録番号: 特許第7134427号

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