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高感度のマイクロ素子熱電式ガスセンサ技術

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)

高感度のマイクロ素子熱電式ガスセンサ技術
掲載画像・国立研究開発法人産業技術総合研究所

この技術でできること

触媒反応による発熱を利用し、ガス検出を高精度に行う熱電式ガスセンサ

技術の特徴

本発明は、可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果を用いて電圧信号に変換し、ガスの検出を行うマイクロ熱電式ガスセンサに関するものです。メンブレン技術を使用し、高温部と低温部を同じ基板上に形成することで、効率的なガス検出を実現します。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2005-024115
発明の名称
マイクロ素子化された熱電式ガスセンサ
出願人/権利者
国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)
公開番号
特開2005-300522
登録番号
特許第4576582号
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