高精度プローブカード製造技術
国立研究開発法人産業技術総合研究所
茨城県つくば市梅園１－１－１ つくば中央第１（産総研内）
この技術でできること
金属超微粒子を用いた高精度なプローブカード製造技術
相談したいこと
技術の特徴
本発明は、インクジェット法を利用して、基板上に金属超微粒子を含む液体材料を吐出し、バンプを形成するプローブカードの製造方法に関するものです。銀材料で核部分を形成し、金材料で表層部を形成することで、高精度で耐久性のあるプローブカードを提供します。
関連キーワード
AIによる特許活用案
半導体検査装置での応用
プローブカードを半導体検査装置に導入し、精度の高い接触検査を実現する技術。
続きの活用案は会員限定です
無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。
参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。
権利概要
- 出願番号
- 特願2005-024117
- 発明の名称
- プローブカード、およびその製造方法。
- 出願人／権利者
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 住所
- 茨城県つくば市梅園１－１－１ つくば中央第１（産総研内）
- 公開番号
- 特開2006-208324
- 登録番号
- 特許第4798557号