高精度のインクジェットノズルプレート製造技術
国立研究開発法人産業技術総合研究所
茨城県つくば市梅園１－１－１ つくば中央第１（産総研内）
この技術でできること
微細なノズル孔を高精度で形成するインクジェットノズルプレート製造技術
相談したいこと
技術の特徴
本発明は、基板上に立体構造物を形成し、その後に硬化性材料で被覆し、剥離して微細ノズル孔を形成する一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造方法に関するものです。この方法により、0.1μmから100μmのノズル孔を高精度で製造することが可能です。
関連キーワード
AIによる特許活用案
電子デバイス製造への応用
微細なノズル孔を利用して、電子デバイスの製造における精密なインクジェット技術を実現。
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
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権利概要
- 出願番号
- 特願2005-024161
- 発明の名称
- 一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造方法
- 出願人／権利者
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 住所
- 茨城県つくば市梅園１－１－１ つくば中央第１（産総研内）
- 公開番号
- 特開2006-205679
- 登録番号
- 特許第4362629号