革新的なダイヤモンド構造体の製造技術

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

最先端のダイヤモンド構造体を製造する新たな手法を提供します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、高品質のダイヤモンド構造体を製造する新たな方法を提案しています。具体的には、少なくとも表面の一部に単結晶ダイヤモンド層が形成された基板を準備し、その基板の単結晶ダイヤモンド層の表面にダイヤモンド構造体を形成します。この過程では、イオン注入工程、エピタキシャル層の形成、高品質結晶化熱処理工程、エッチングマスク形成工程などが含まれます。さらに、このプロセスは、ダイヤモンド層の欠陥を低減し、製品の品質を向上させます。この新しい製造方法は、ナノおよびマイクロ電子機械システムデバイス等における単結晶ダイヤモンド構造体の使用を可能にします。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体産業電子機器製造マイクロ電子機械

高精度な電子機器の開発

この製造技術は、高品質な単結晶ダイヤモンド構造体を活用した高精度な電子機器の開発を可能にします。これにより、デバイスの性能を向上させ、より信頼性の高い製品を市場に提供できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-022665
発明の名称: ダイヤモンド構造体、ダイヤモンド・カンチレバー、およびダイヤモンド構造体の製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2019-140547
登録番号: 特許第6989091号

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