次世代ディスプレイの心臓部、薄膜トランジスタの新技術

日本放送協会

この技術でできること

本発明は、電気的特性の安定性を保ちつつ高い移動度を持つ薄膜トランジスタとその製造方法に関するものです。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、ディスプレイ駆動素子等に活用される薄膜トランジスタの新たな技術について述べています。特に、半導体素子として酸窒化亜鉛を含む薄膜トランジスタとその製造方法に焦点を当てています。近年、薄膜トランジスタはディスプレイ駆動素子などに活用されていますが、電気的特性が不安定であり、その経時的な変化が生じやすい問題がありました。本発明では、酸窒化亜鉛を半導体層に用いた薄膜トランジスタにおいて、高い移動度を確保しつつ、電気的特性の安定性を向上させることを目指しています。具体的には、活性層としての半導体層には少なくともZn、O、N、およびTaを含む半導体を材料として用い、その半導体層に含まれるTaの割合が0.3atomic%以上、かつ1.4atomic%以下であることを特徴としています。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体産業ディスプレイ製造電子機器製造

大面積・高精細ディスプレイの開発

本特許の技術は、大面積・高精細のディスプレイの開発に貢献します。高い移動度と電気的特性の安定性を両立することで、ディスプレイの性能向上と寿命延長が可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-024197
発明の名称: 薄膜トランジスタおよびその製造方法
出願人／権利者: 日本放送協会
公開番号: 特開2019-140318
登録番号: 特許第7116553号

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