高精度な微細パターン形成技術
国立研究開発法人産業技術総合研究所
茨城県つくば市梅園１－１－１ つくば中央第１（産総研内）
この技術でできること
触媒や抵抗体を基板上に精密にパターン形成する革新的技術
相談したいこと
技術の特徴
本発明は、基板上に触媒や抵抗体の微細パターンを形成する技術に関するものです。ディスペンサを用いてナノメートルレベルの粒子を精密に塗布し、触媒反応や熱電発電における高効率化を実現します。ガスセンサや発電素子の製造にも応用され、幅広い産業での利用が期待されています。
関連キーワード
AIによる特許活用案
ガスセンサ製造への応用
微細パターン形成技術を用いて、可燃性ガスを高精度で検知できるガスセンサを製造する技術。
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
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権利概要
- 出願番号
- 特願2005-067297
- 発明の名称
- 微細パターン形成方法
- 出願人／権利者
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 住所
- 茨城県つくば市梅園１－１－１ つくば中央第１（産総研内）
- 公開番号
- 特開2006-047276
- 登録番号
- 特許第4581113号