効率的なプラズマ生成を実現するマイクロ波プラズマ源

国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構

東京都調布市深大寺東町7-44-1

この技術でできること

本特許は、マイクロ波電力と放電ガスを利用したプラズマ生成装置で、高いプラズマ密度を実現します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、磁気回路部を持つ筒状の磁石部と、放電ガスを供給するガスポート部、及びマイクロ波電力を供給可能なアンテナを具備したマイクロ波プラズマ源を提供します。この装置は、磁石部の内径とマイクロ波電力のマイクロ波遮断波長の間に特定の関係があることで、高いプラズマ密度を実現します。アンテナは、第1の磁気回路部からノズル部に向かう方向に延在する第1アンテナ部と、円盤状またはコーン状に構成された第2アンテナ部を有します。第1アンテナ部は、第2アンテナ部の中心部に連結しています。これにより、効率的なマイクロ波プラズマ生成が可能となります。

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半導体製造プロセスの高度化

このマイクロ波プラズマ源は、半導体製造プロセスにおける高密度プラズマの生成に利用することで、より精密で効率的な製造が可能となります。半導体の性能向上や製造コストの削減に寄与します。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-225696
発明の名称: マイクロ波プラズマ源
出願人／権利者: 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
住所: 東京都調布市深大寺東町7-44-1
公開番号: 特開2019-096504
登録番号: 特許第6570144号

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