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革新的な製造方法による塗布型金属酸化物膜

日本放送協会

この技術でできること

高品質な塗布型金属酸化物膜とその製造方法、及びそれを用いた電子デバイス

技術の特徴

本特許では、高品質な塗布型金属酸化物膜の製造方法を提供します。その方法は有機酸を含む溶液によるエッチング工程を特徴としています。特に、使用される有機酸は金属イオンに対し金属配位子錯体を形成するキレート効果を有するヒドロキシカルボネート系の有機酸です。本特許によれば、この製造方法により得られた金属酸化物膜は、電子デバイス、特に薄膜トランジスタの製造に利用可能です。また、この金属酸化物膜を用いた電子デバイスは、有機EL素子やLCD等を駆動するために使用される可能性があります。

関連キーワード

塗布型金属酸化物膜金属酸化物膜製造方法有機酸エッチング薄膜トランジスタ電子デバイス

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高精度なディスプレイの製造

本特許の塗布型金属酸化物膜の製造方法は、高精度なディスプレイの製造に活用できます。具体的には、有機EL素子やLCD等を駆動する薄膜トランジスタの製造に利用可能です。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2017-217598
発明の名称
塗布型金属酸化物膜の製造方法、それを用いて製造された塗布型金属酸化物膜および電子デバイス
出願人/権利者
日本放送協会
公開番号
特開2019-091740
登録番号
特許第6941538号
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