マイクロスケールでの表面処理を可能にする、革新的な放電加工装置

東京都公立大学法人

東京都八王子市南大沢１－１

この技術でできること

本発明は、微細な領域に対する表面処理を可能にする放電加工装置及び表面処理方法に関する。

相談したいこと

技術の特徴

本発明の放電加工装置は、グローコロナと呼ばれる極微小かつ安定したプラズマを発生させることができます。その中心には、開口部を有する板状電極と、電源に連結されて先端から放電可能な棒状電極が配置されています。さらに、棒状電極の先端の近傍には、加工対象試料を微細に位置決め可能な試料保持部が設けられています。さらに、棒状電極に対向する位置に金属電極が配置され、その表面には誘電体層が設けられています。これにより、微小領域での局所的なプラズマの照射や反応を可能にし、その結果、微小領域の表面処理を実現します。この技術は、各種資料の表面を微細に加工する際に、グローコロナを安定的に発生させ、加工対象試料との相互作用を維持しながら、安定したコロナ放電を行うことが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業医療器具製造業自動車産業

マイクロデバイスの製造

半導体や電子部品の製造において、微細な部分の精密な表面処理が求められる場合があります。本発明の放電加工装置は、そのような微細加工を可能にするため、マイクロデバイスの製造プロセスにおける精密な表面処理に活用できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-168155
発明の名称: 放電加工装置及び表面処理方法
出願人／権利者: 東京都公立大学法人
住所: 東京都八王子市南大沢１－１
公開番号: 特開2019-042668
登録番号: 特許第7008317号

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