高度な精度を実現する位置決めルーチンの新次元

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

高周波特性検査装置の校正・位置決め技術の革新的な方法

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、X、Y、およびZ方向に可動し、XY平面で回転できる回転ステージを特徴とする高周波特性検査装置の校正・位置決め技術について述べています。位置決め用パターンの基準点の座標を取得し、取得した座標に基づいて基板のX軸とステージのX軸とのオフセット角を算出します。その後、オフセット角だけ回転ステージを逆回転させることで、非常に精度の高い位置決めを実現します。また、基板上に位置決め用パターンと校正用の基準器を配置し、高周波特性検査装置の校正を行う方法も記述しています。この技術は、高精度な位置決めと校正が必要な各種産業において有用であり、製品の品質向上と生産効率の向上に寄与します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子工学ロボット工学製造業

生産ラインの精度向上

本技術を製造ラインに導入することで、製品の位置決め精度を向上させることが可能です。これにより、製品の品質を一貫して高く保つことができ、顧客満足度を向上させることができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-163566
発明の名称: 高周波プローブ位置補正技術
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2019-039869
登録番号: 特許第7028430号

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