スマートで効率的なターゲット損耗検出機構

国立大学法人茨城大学

茨城県日立市中成沢町４－１２－１

この技術でできること

スパッタリングプロセス中のターゲット損耗をリアルタイムで検出し、適切な交換タイミングを知らせる技術。

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、スパッタリングによる薄膜形成のために使用されるターゲットの損耗状況を監視し、その損耗が一定の範囲に達したときにスパッタリングを停止させるターゲット損耗検出機構に関するものです。本技術は、エロージョン領域の深さ位置まで背面溝を設け、その損耗状況を光検出手段で検出します。そして、特定の損耗レベルが到達したときにスパッタリングを停止させます。これにより、ターゲットの交換タイミングを正確に把握し、基板が材料以外のもので汚染されるのを防ぎ、スパッタリング装置の破損を防ぐことができます。また、効率的なスパッタリングプロセスを実現し、生産コストを削減します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造ナノテクノロジー電子部品製造

半導体製造プロセスの効率化とコスト削減

半導体製造プロセスでは、スパッタリング法が頻繁に使用されます。本技術を導入することでターゲットの交換タイミングを正確に把握し、損耗による装置の破損や汚染を防ぐことができます。これにより、スパッタリングプロセスが効率化され、製造コストが削減されます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-085088
発明の名称: ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法
出願人／権利者: 国立大学法人茨城大学
住所: 茨城県日立市中成沢町４－１２－１
公開番号: 特開2019-007076
登録番号: 特許第6653906号

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