革新的な強磁性交換結合素子の製造方法

日本放送協会

この技術でできること

熱耐性のない材料との高効率な強磁性交換結合を実現する製造方法

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、熱耐性の無い材料との強磁性交換結合を高い生産効率で実現し、各種微細加工プロセスに適用できる強磁性交換結合素子及びその製造方法に関する。具体的には、強磁性材料からなる第1強磁性層の形成、非磁性金属からなる非磁性金属層の形成、酸化物又は窒化物からなるバッファ層の形成、前記各層の酸化を制するキャップ層の形成などから成る積層体の製造、それに続くリフトオフ処理又は熱処理、そして前記キャップ層及びバッファ層の一部の除去、さらに強磁性材料からなる第2強磁性層の形成という工程を有する。これにより、熱処理耐性の無い層を含む素子の製造が可能となり、製膜と比較して工程時間が長い熱処理を効率的に行うことができる。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業電子部品製造業マイクロマシニング業

高品質な半導体素子の製造

この特許の技術を用いれば、熱耐性のない材料との強磁性交換結合を持つ高品質な半導体素子の製造が可能になります。これにより、製造コストを抑えつつ、製品の性能を向上させることができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-109478
発明の名称: 強磁性交換結合素子及びその製造方法
出願人／権利者: 日本放送協会
公開番号: 特開2018-206900
登録番号: 特許第7149055号

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