素早く、正確に微小ガスを検出！高感度昇温脱離ガス分析装置

国立大学法人東京工業大学

この技術でできること

ベリリウム銅を使用した高感度昇温脱離ガス分析装置で、超微小なガスの検出を可能に。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、高感度昇温脱離ガス分析装置に関するもので、特に微小なサンプルから放出される超微小量のガスを高感度に検出可能な装置を提供します。具体的には、ガス含有量の低い超低ガス放出処理済みのベリリウム銅から成る真空チャンバ、サンプル台、加熱手段、検出部、そして複数のポンプを直列接続することで、サンプルから脱離するガスを測定します。これにより、従来の装置では測定が難しかった体積の小さい試料からの微小なガスの検出を可能にし、より正確な分析を実現します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体産業化学研究環境分析

微小なガス放出を検出する装置の開発

本特許技術を活用して、微小なガス放出を高感度で検出する装置を開発することが可能です。これにより、製品の品質を保証するための試験や、新素材の研究開発に活用することができます。

続きの活用案は会員限定です

無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。

参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2017-034677
発明の名称: 高感度昇温脱離ガス分析装置
出願人／権利者: 国立大学法人東京工業大学
住所: 国立大学法人東京工業大学
公開番号: 特開2018-141657
登録番号: 特許第6934239号

登録情報の修正申請