革新的なシリコン結晶中の炭素濃度測定技術

学校法人明治大学

東京都千代田区神田駿河台１－１

この技術でできること

高精度で迅速な炭素濃度測定を可能にする特定波長の発光強度に基づく炭素濃度測定方法と装置

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、シリコン結晶中の炭素濃度を精密に測定する新たな方法と装置に関するものです。炭素濃度の測定は、シリコン結晶の原子格子位置に存在する炭素を格子間位置に変位させ、その後の発光スペクトルから特定波長の発光強度を測定することで実現されます。この測定方法は、特定の波長が1140nmと1610nmであることを特徴としており、その結果から炭素濃度が算出されます。さらに、一括測定機能を持つスペクトル測定部を装備した炭素濃度測定装置も提供されています。これにより、高速かつ高精度な炭素濃度測定が可能となります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業素材科学研究・開発

高品質半導体の製造

本特許の技術は、シリコン結晶中の炭素濃度を精密に測定することが可能なため、高品質な半導体の製造に活用できます。炭素濃度の制御は半導体の品質向上に直結するため、この技術を活用することで製品の品質を一層向上させることが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2018-003897
発明の名称: 炭素濃度測定方法及び炭素濃度測定装置
出願人／権利者: 学校法人明治大学
住所: 東京都千代田区神田駿河台１－１
公開番号: 特開2018-125524
登録番号: 特許第7026371号

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