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高精度な高周波特性検査装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)

この技術でできること

一対の高周波プローブを用いて平面回路の特性を精密に検査する装置。

技術の特徴

本特許は、端と前記シグナル領域とを接触させ、ステージコントローラを制御し前記平面回路を載置する可動ステージを稼動して前記対向する一対の前記高周波プローブをX軸方向やY車方向に稼動させる高周波特性検査装置に関する。特に、高周波を放出して得たSパラメータの反射係数から、プローブのX軸やY軸の位置を決定する工程が特徴的である。さらに、決定された位置においてプローブの各先端とシグナル領域とを接触させ、ステージコントローラを制御し平面回路を載置する可動ステージを稼動してプローブの位置を調整する。これにより、平面回路の電気的特性を高精度に検査することが可能となる。

関連キーワード

高周波特性検査プローブSパラメータ平面回路ステージコントローラ

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子工学電子機器製造業電気通信業

高精度な回路設計の補助ツールとして

本特許の技術を活用することで、回路設計者は設計した回路の電気的特性を高精度に検査することが可能となる。これにより、設計の精度を向上させ、製品の品質を高めることができる。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2017-015659
発明の名称
電気的中点におけるRFプローブシステムの校正技術
出願人/権利者
国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)
公開番号
特開2018-125389
登録番号
特許第6765104号
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