高感度・高効率な熱伝導式センサ

地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター

東京都江東区青海２－４－１０

この技術でできること

熱伝導性が雰囲気の状態に応じて変化する熱伝導式センサ

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、発熱手段を備えた熱伝導式センサに関するものです。特に、第2と第3の発熱手段がそれぞれ底面基板と上面基板と一体化されています。また、センサ素子保持基板と底面基板の間、または流路形成基板と上面基板の間の少なくとも一方には、熱均一化基板を備えています。さらに、センサ素子保持基板の直下や、流路形成基板の直上の少なくとも一方にブリッジヒータを備えています。発熱手段には、ニクロムやカンタル、金系や銀パラジウム系の発熱体が使用されています。そして、熱伝導式センサ素子には、Pt、Ni、Cu等の金属の細線が用いられています。これらの構成により、熱伝導性が雰囲気の状態に応じて変化し、高いセンシング感度と効率を実現しています。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体業界電子部品製造業自動車業界

高精度な温度調節システムの開発

本特許の熱伝導式センサを活用することで、温度の微妙な変化をリアルタイムで検出することが可能になります。これにより、精密機器の製造工程や、高度な温度調節が必要な環境での利用に有効です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-018226
発明の名称: 熱伝導式センサ
出願人／権利者: 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター
住所: 東京都江東区青海２－４－１０
公開番号: 特開2018-124225
登録番号: 特許第6912042号

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