高品質な酸化ガリウム製造の革新的ソリューション

国立大学法人　和歌山大学

和歌山県和歌山市栄谷９３０

この技術でできること

安全かつ効率的な酸化ガリウムの製造と結晶成長方法を提供する特許技術です。

相談したいこと

技術の特徴

この特許技術は、不純物を含まない酸化ガリウムの結晶を高効率で製造する方法を提供します。特に、金属ガリウムをハロゲン化水素酸に溶解させてハロゲン化ガリウム水溶液を調製し、そのミストをキャリアガスとともに結晶成長部に供給することで高品質な酸化ガリウムを製造します。さらに、結晶成長部は高温の成長部とそれを取り囲む周辺部を含むコールドウォール構造を有し、その結果として均一な品質を持つ酸化ガリウムを生成します。また、この技術により、ガリウム有機錯体を使用する必要がなく、その結果、得られた酸化ガリウムは炭素原子フリーとなります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体産業化学産業マテリアルサイエンス

高品質な酸化ガリウムの製造

この特許技術は、半導体製造プロセスで重要な役割を果たす高品質な酸化ガリウムの製造に利用できます。製造プロセスは安全かつ効率的で、炭素原子フリーの高品質な酸化ガリウムを得ることができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-213949
発明の名称: 酸化ガリウムの製造方法及び結晶成長装置
出願人／権利者: 国立大学法人　和歌山大学
住所: 和歌山県和歌山市栄谷９３０
公開番号: 特開2018-070422
登録番号: 特許第6793942号

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