革新的なカンチレバー構造体とセンサの組み合わせ

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

高感度でフレキシブルなカンチレバー構造体を備えたセンサとその製造方法に関する特許

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、カンチレバー構造体とそれを備えたセンサ、およびその製造方法について述べています。カンチレバー部は、第一の電極と第二の電極が絶縁層を介して交差するマトリクス構造を有し、複数の交差する領域に配置されています。また、カンチレバー部の変形や第二の電極のぶりにより静電容量を変更することが可能です。センサはカンチレバー部の変位を検出し、それを静電容量の変化により読み取ります。製造方法では、第一の電極と絶縁層を介して絶縁される第二の電極を形成し、絶縁層にスルーホールを形成します。その上に、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部層を形成し、それを接着層あるいは導電性支柱層を用いて転写します。これにより、カンチレバー部は一部が第一の電極に導電接続され、一部が第二の電極から浮遊した状態になります。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 センサ製造業電子機器製造業ヘルスケア業界

高感度センサの製造

この特許の技術を利用して、高感度なセンサを製造することが可能です。カンチレバー構造体の特性を活用すれば微小な変化も捉えることができ、より精度の高いセンサを作り出すことができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-211053
発明の名称: カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2018-069369
登録番号: 特許第6818297号

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