革新的なセンシング技術：マトリクス化カンチレバー構造体

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

高感度なカンチレバー構造体とその製造方法に関する特許、大面積のセンサデバイスの展開に有効。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、カンチレバー構造体とその製造方法に関するもので、カンチレバー部が複数の交差する領域に配置される。カンチレバー部の変形や電極の曲がりにより静電容量を変化させることが特徴。また、カンチレバー部の変位を検出するセンサも提供される。製造方法では、電極を形成し、転写用基材の表面に樹脂含有層を有するカンチレバー部層を形成。接着層あるいは導電性支柱層を用いて、カンチレバー部層を基材から剥離し、電極に転写する。カンチレバー部は一部が電極に導電接続され、一部が浮遊する状態となる。

AIによる特許活用案

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高齢者見守りシステムの開発

本特許の技術を活用し、高齢者の住居の床全体にセンサを大面積に敷き詰め、行動を途切れることなく検知する高齢者見守りシステムを開発することが可能です。これにより、より安心安全な社会の実現に寄与することができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-211036
発明の名称: カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2018-069368
登録番号: 特許第6818296号

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