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革新的な映像化技術を持つ走査型プローブ顕微鏡

国立大学法人金沢大学

石川県金沢市角間町 金沢大学内

この技術でできること

高精度な立体形状画像を生成するための走査型プローブ顕微鏡

技術の特徴

当該技術は、試料の表面における立体形状を高精度に画像化するための走査型プローブ顕微鏡を提供します。試料に対してプローブを2次元的に走査するXYスキャナ、走査面と直交するZ軸方向にプローブを駆動するZスキャナ、そしてこれらを制御する制御部を備えています。制御部は、連続撮影モードにおいて、過去の画像化で得られた画像に基づいて次の画像化のための走査条件を決定し、画像化を行います。また、試料が存在する領域、すなわち試料領域を特定し、次の画像化においてプローブが走査すべき測定領域を決定します。このようにして、試料の詳細な立体形状を高精度に画像化することが可能となります。

関連キーワード

顕微鏡画像化プローブ走査高精度

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2016-188803
発明の名称
走査型プローブ顕微鏡及びその制御方法
出願人/権利者
国立大学法人金沢大学
住所
石川県金沢市角間町 金沢大学内
公開番号
特開2018-054385
登録番号
特許第6842750号
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