高効率赤外線ヒーター搭載の基板加熱装置

東京応化工業株式会社

神奈川県高座郡寒川町田端１５９０

この技術でできること

管状に折り曲げられた赤外線ヒータを用いた高効率な基板加熱装置

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、複数箇所で折り曲げられた管状を形成し、外方に凸をなすように折り曲げられたベンド部を含む赤外線ヒータを用いた基板加熱装置に関するものです。これにより、基板の加熱効率が向上します。また、赤外線ヒータは、第一方向と交差する第二方向に並んで複数配置され、複数のベンド部が赤外線ヒータ自体のカバー部により第一方向の両側の外方から覆われています。この装置は、基板を挟んで赤外線ヒータとは反対側に配置されるとともに、基板を加熱することができます。さらに、加熱部及び赤外線ヒータを収容可能なチャンバや、基板の温度を検知可能な温度検知部を含んでいます。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子機器製造半導体製造工業機械製造

高効率な基板加熱装置としての活用

本特許の基板加熱装置は、電子機器や半導体の生産工程で使用する加熱装置として活用することができます。特に、大量生産を行う工場では、高効率な加熱装置が求められますので、本装置の活用により生産効率の向上が期待できます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2016-167793
発明の名称: 基板加熱装置、基板加熱方法及び赤外線ヒータ
出願人／権利者: 東京応化工業株式会社
住所: 神奈川県高座郡寒川町田端１５９０
公開番号: 特開2018-037191
登録番号: 特許第6757629号

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