高精度観察が可能な強誘電体分極ドメイン観察装置

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）

この技術でできること

高速かつ高分解能で強誘電体の分極ドメインを観察可能な装置の開発。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、強誘電体の分極ドメインを高速かつ高い分解能で観察できる装置について記述しています。装置は、単色光の透過光または反射光を集光し二次元光検出器上に結像させる光学系、画像信号を処理する画像処理手段を含みます。画像処理手段は、周期に同期させて正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えます。また、単色光の波長は、200〜2000nmの範囲内にあることが特徴です。これにより、分極反転の状態を判別できる程度に高分解能で観察することが可能となります。

AIによる特許活用案

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高精度な半導体製造への応用

本装置は、分極ドメインの微細な変化を高精度に観察できるため、半導体製造工程における品質管理や新規素材の開発・評価に活用することができます。特に、強誘電体を用いたメモリ素子の製造において、分極ドメイン状態の詳細な観察が可能となり、製品の性能向上や劣化原因の特定に有効に働きます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-167750
発明の名称: 強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法及びその装置
出願人／権利者: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所: 茨城県つくば市梅園１－１－１　つくば中央第１（産総研内）
公開番号: 特開2018-036088
登録番号: 特許第6842080号

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