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高感度・高選択性・迅速性を兼ね備えたガスセンサーデバイス

富士通株式会社

神奈川県川崎市中原区上小田中4-1-1

この技術でできること

高感度なアンモニア検知と優れたガス種選択性を持つガスセンサーデバイスで、応答速度が向上

技術の特徴

本特許は、ガスセンサーデバイス、ガス検定装置、及びガスセンサーデバイスの作製方法に関するものである。本発明のガスセンサーデバイスは、基板上に臭化第一銅の結晶膜を有し、その結晶表面は、平坦面と急斜面を含むステップ段丘で形成されている。これにより、ガス分子の吸着が理想的に進行し、高感度なアンモニア検知と優れたガス種選択性が可能となる。さらに、これらの特性に加えて、応答速度が向上しており、アンモニア濃度に対応する平衡値に到るまでの時間(立ち上がり時間)が短縮されている。これにより、ガスセンサーデバイスの消費電力が軽減され、効率的なガス検知が可能となる。

関連キーワード

ガスセンサーアンモニア検知高感度高選択性応答速度向上

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高感度ガス検知装置の開発

本発明を活用し、高感度で様々なガスを検知できるガス検知装置を開発する。特に、アンモニアに対して高感度で応答し、その濃度をリアルタイムで検知可能な装置として、工場や研究施設などでの使用に適している。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2016-155902
発明の名称
ガスセンサーデバイス、ガス測定装置、及びガスセンサーデバイスの作製方法
出願人/権利者
富士通株式会社
住所
神奈川県川崎市中原区上小田中4-1-1
公開番号
特開2018-025412
登録番号
特許第6786941号
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