高精度なレーザー干渉計の新時代

学校法人東京電機大学

この技術でできること

複数の位置を簡易且つ高精度に測定可能なレーザー干渉計の開発

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、複数の位置を簡易且つ高精度に測定できるレーザー干渉計に関するものである。従来の技術では、測定点に対して順次レーザー光を照射して測定するか、複数のレトロリフレクタを設置してレーザー光の光軸を細く絞り、これらからの反射光を利用して測定していた。しかし、本発明では、ボールレンズと液晶フィルターを組み合わせることで、同時に複数の位置の測定が可能となり、特にレーザー干渉計に好適なものとなっている。光源からの拡散光を入射した光軸に沿ってそれぞれ反射する複数のボールレンズと、光源と複数のボールレンズとの間に配置されて個々のボールレンズに対する拡散光の入射を遮断可能とする液晶フィルターと、個々のボールレンズに対応する液晶フィルターの各部分の光の遮断を制御する制御手段と、ボールレンズで反射された反射光を受光すると共に、光源に源を有する光の一部を参照光として受光する受光素子を含む干渉計が提案されている。

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高精度な位置測定を必要とする産業機械の開発

産業機械は、精密な位置情報の取得が重要となる。本発明のレーザー干渉計を活用することで、複数の位置を簡易且つ高精度に測定することが可能となり、より精密な産業機械の開発が進められる。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-142034
発明の名称: 干渉計
出願人／権利者: 学校法人東京電機大学
公開番号: 特開2018-013371
登録番号: 特許第6795154号

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