革新的な走査型電子顕微鏡用標準試料とその評価方法

学校法人関西学院

兵庫県三田市学園２－１

この技術でできること

高精度な走査型電子顕微鏡の性能評価とSiC基板の品質評価を可能にする新たな傾斜支持台付き標準試料

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、特定の傾斜支持台付き標準試料とその評価方法に関するもので、その試料はステップテラス構造を有し、試料の回転によってコントラストが変化します。また、その評価方法は、走査型電子顕微鏡によって得られるコントラストの変化を比較し、電子線の方向性能や深さ性能を評価します。さらに、これらの標準試料に対するコントラストとSiC基板に対するコントラストを比較することで、SiC基板の品質評価も可能にします。これらの評価方法は、4H-SiCや6H-SiCなどの標準試料を用いて行います。この技術は、電子顕微鏡の評価やSiC基板の品質管理における新たな可能性を切り開くものです。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業材料科学ナノテクノロジー

走査型電子顕微鏡の精度向上

この新たな標準試料と評価方法を用いることで、走査型電子顕微鏡の精度をより高めることが可能になります。具体的には、電子線の方向性能や深さ性能をより正確に評価し、その結果をもとに装置の調整を行うことができます。

続きの活用案は会員限定です

無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。

参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2016-089094
発明の名称: 傾斜支持台付き標準試料、その製造方法、走査型電子顕微鏡の評価方法、及びＳｉＣ基板の評価方法
出願人／権利者: 学校法人関西学院
住所: 兵庫県三田市学園２－１
公開番号: 特開2017-199540
登録番号: 特許第6664133号

登録情報の修正申請