高精度ガス分析装置〜還元性ガスと塩基性ガスの検出に〜

富士通株式会社

神奈川県川崎市中原区上小田中４－１－１

この技術でできること

マシンラーニングと統計処理を活用したガス分析装置と方法に関する特許。

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、ガスの成分と濃度を高精度に分析するための装置と方法に関するものです。チャンバ内に設けられた第1・第2のガスセンサが主要な要素で、これらはそれぞれ特定の材料を主成分とする感ガス材を備えています。第1のガスセンサはSn, W, Zn、Inのいずれかを主材料とする酸化物半導体またはCを主材料とする半導体で、第2のガスセンサはCuもしくはAgのハロゲン化物または酸化物を主材料とします。これらのセンサはガスの抵抗変化を測定し、主成分分析により主成分スコアを算出します。そして、既知のガスに対する感ガス材の応答に関する固有ベクトルと主成分スコアを乗算し、還元性ガスと塩基性ガスの濃度を算出します。この一連の分析は統計処理または機械学習により行われ、高い精度と選択比が得られます。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 化学工業環境産業医療産業

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-081274
発明の名称: ガス分析装置およびガス分析方法
出願人／権利者: 富士通株式会社
住所: 神奈川県川崎市中原区上小田中４－１－１
公開番号: 特開2017-191036
登録番号: 特許第6682975号

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