ナノレベルで解析可能な顕微分光データ測定装置！

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

物質の微細な領域を解析するための顕微分光データ測定装置とその方法

相談したいこと

技術の特徴

本特許は、物質の微細な領域を解析するための顕微分光データ測定装置とその方法について述べています。装置は、第1母相と第2母相の極表層に分布したナノ薄膜領域を含み、これらは異なる成分を有します。装置の特徴は、二次電子の顕微分光データがエネルギーフィルターで分光できるエネルギー以下のエネルギーであることです。また、試料上の各領域に対して、電子ビームを照射して得られる二次電子の顕微分光データを検出し、これらの信号強度に基づいて、ナノ薄膜領域の物性特性のエネルギー依存性を演算する方法が提供されます。これにより、物質の微小な領域の物性特性を精確に解析することが可能となります。

AIによる特許活用案

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新素材開発のための解析手法として

新たな素材の開発において、その物性特性を詳細に理解することは必要不可欠です。本特許の顕微分光データ測定装置とその方法は、素材のナノレベルでの物性特性を詳細に解析することを可能にします。これにより、新素材の開発における理解を深め、より効率的な開発を行うことが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-066285
発明の名称: 顕微分光データ測定装置および方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2017-181192
登録番号: 特許第6677943号

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