超音波洗浄ガン - 洗浄力を維持しながら被洗浄物を保護

株式会社ディスコ

東京都大田区大森北２－１３－１１

この技術でできること

二流体洗浄の問題を解決する、超音波振動を使用した洗浄ガン

相談したいこと

技術の特徴

この洗浄ガンは、被洗浄物に向けて洗浄水を噴射し、その物体を洗浄します。従来の二流体洗浄は、噴射させる二流体の勢いを強くする必要があり、被加工物が割れてしまうことがありました。しかし、この洗浄ガンは、超音波振動を使用して、洗浄力を維持しながらも、被洗浄物を破損させることなく洗浄します。また、凸凹のある洗浄面でも、超音波振動により凹んだ部分に溜まった汚れを効率的に洗い流すことができます。本体部に接近及び離間可能なハンドルを備えており、作業者がハンドルを把持し、ハンドルと本体部とを接近させることで、バルブを作動させて水路を開くことが可能です。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造自動車製造精密機器製造

半導体製造プロセスの改善

半導体ウェーハの洗浄に、この洗浄ガンを使用することで、洗浄力を維持しながらウェーハを破損させるリスクを減らすことができます。

続きの活用案は会員限定です

無料登録またはログイン後に、公開範囲に応じて確認できます。

参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2019-109421
発明の名称: 洗浄ガン
出願人／権利者: 株式会社ディスコ
住所: 東京都大田区大森北２－１３－１１
公開番号: 特開2020-202323
登録番号: 特許第7351646号

登録情報の修正申請