革新的な金属微細構造体の製造技術

国立大学法人静岡大学

静岡県浜松市中央区城北３－５－１

この技術でできること

ポリアミック酸と金属塩を使用した効率的な金属微細構造体の製造方法

相談したいこと

技術の特徴

本発明は、金属微細構造体の製造方法に関するもので、金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む板状部材を形成する形成ステップと、板状部材に所定の照射パターンでレーザ光を照射する照射ステップ、そして板状部材の一部と、金属塩から生じた金属イオンのうちのいずれかを除去する除去ステップと、を備える。この方法では、金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む板状部材に所定の照射パターンでレーザ光が照射されることによりその照射パターンに対応して金属が析出し、照射パターンに対応した金属微細構造体が形成される。除去ステップでは、酸性溶液を用いることにより金属イオンをイオン交換により除去することができる。

AIによる特許活用案

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高精度な電子部品の製造

この技術は、微細な金属構造を形成することが可能であるため、CPUやGPUなどの半導体製造や、高精度な電子部品の製造に活用することができます。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2016-045936
発明の名称: 金属微細構造体の製造方法
出願人／権利者: 国立大学法人静岡大学
住所: 静岡県浜松市中央区城北３－５－１
公開番号: 特開2017-162984
登録番号: 特許第6715508号

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