3D微粒子位置特定装置：ナノスケールの世界への窓

国立大学法人九州工業大学

福岡県北九州市戸畑区仙水町１番１号

この技術でできること

本特許は、微粒子の3次元座標位置を正確に特定するための技術を提供します。

相談したいこと

技術の特徴

本特許では、レーザー光を用いて微粒子の3次元位置を特定する装置や方法が開示されています。具体的には、レーザー光源からの光を屈折率の大きい媒質と小さい媒質の境界面で全反射させ、その近接場光を微粒子に照射します。この微粒子からの散乱光を検出し、それを用いて微粒子の3次元位置を特定します。また、散乱光の強度から微粒子の粒径も求めることが可能で、さらに、波長ごとの最大強度値を検出して微粒子のx、y座標位置を出力し、微粒子のz座標値を算出することも可能です。さらに、この技術は2つの異なる波長を持つレーザー光源を用いることで、より精密な3次元位置特定が可能となります。

AIによる特許活用案

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精密な半導体製造に活用

この技術は、微細な半導体製造プロセスにおいて特定の部品の3次元位置を精密に特定するために利用することができます。これにより、製造精度を向上させ、より高性能な半導体製品を生産可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号: 特願2016-047872
発明の名称: 微粒子の３Ｄ位置特定装置及び特定方法
出願人／権利者: 国立大学法人九州工業大学
住所: 福岡県北九州市戸畑区仙水町１番１号
公開番号: 特開2017-161436
登録番号: 特許第6607607号

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