革新的な高コントラストX線撮像装置

国立研究開発法人物質・材料研究機構

茨城県つくば市千現１－２－１

この技術でできること

貴金属でコーティングされた薄膜・多層膜試料の高コントラスト画像を生成

相談したいこと

技術の特徴

この特許は、X線ビームが反射するように試料上で調整する傾斜角を持つ面内回転ステージ、前記反射したX線ビームの強度プロファイルを測定するX線検出器、小さな形状の開口部が符号化規則で配置されたアダマールマスク、そして画像再構成演算を行う画像化演算装置を備えたX線撮像装置に関するものです。特に、試料が薄膜・多層膜である場合に、貴金属の臨界角に固定された状態で、X線ビームの全反射現象を利用して高いコントラスト画像を生成します。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造医療技術材料科学

高精度な薄膜・多層膜の検査

薄膜・多層膜の品質管理や故障分析において、このX線撮像装置は高いコントラストを持つ画像を生成することで、微細な欠陥や不均一性を詳細に検出することが可能です。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2017-079620
発明の名称: Ｘ線撮像装置及びその使用方法
出願人／権利者: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
住所: 茨城県つくば市千現１－２－１
公開番号: 特開2017-142261
登録番号: 特許第6395275号

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