高感度と低暗電流を両立する光電変換素子の製造方法
日本放送協会
この技術でできること
酸化ガリウムを用いた光電変換素子の製造方法で、低電圧印加時でも可視光感度が高く、暗電流が低い製品が作られます。
相談したいこと
技術の特徴
この特許は、酸化ガリウムを用いた光電変換素子の製造方法を提供します。具体的には、基板上にカルコパイライト型またはスファレライト型の化合物半導体を積層形成し、酸化ガリウムからなるn型半導体層を形成する際、基板を450〜500で加熱しながら酸化ガリウムを成膜することが特徴です。これにより、暗電流を低くし、SN比を高くすることが可能となります。また、0Vまたは非常に低い逆バイアス電圧を印加した場合でも駆動可能な、可視光用の光電変換素子を得ることができます。
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高感度カメラの製造
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
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権利概要
- 出願番号
- 特願2015-211033
- 発明の名称
- 光電変換素子の製造方法
- 出願人/権利者
- 日本放送協会
- 公開番号
- 特開2017-084946
- 登録番号
- 特許第6654856号