革新的な基板加熱装置と方法 - 高精度と効率を実現

東京応化工業株式会社

神奈川県高座郡寒川町田端１５９０

この技術でできること

本特許は、基板、特にフレキシブルな樹脂基板を段階的に加熱するための高度な基板加熱装置と方法に関するものです。

相談したいこと

技術の特徴

この特許では、基板の一方の面を加熱する第一加熱部と、基板の他方の面を加熱する第二加熱部からなる基板加熱装置が提供されます。特に、基板は第一加熱部と第二加熱部の間で移動可能で、基板の相対位置を調整できる位置調整部を含みます。また、基板の温度を検知可能な検知部や基板に塗布された溶液から揮発した溶媒を回収可能な回収部も含まれています。これらの機能により、基板の加熱プロセスをより精度高く、効率的に制御することができます。

AIによる特許活用案

おすすめ業界 電子機器製造業半導体製造業化学製品製造業

高精度基板加熱のための新型装置開発

本特許の技術を用いて、基板の加熱プロセスをより精度高く、効率的に制御する新型の基板加熱装置を開発することができます。これにより、基板の品質を向上させ、生産効率を高めることが可能となります。

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参考情報

活用条件

サブスクリプション・未選択
権利譲渡・未選択
ライセンス契約・未選択

商品化・サービス化: ASK
実証実験: ASK
サンプル・プロトタイプ: ASK

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権利概要

出願番号: 特願2015-215013
発明の名称: 基板加熱装置及び基板加熱方法
出願人／権利者: 東京応化工業株式会社
住所: 神奈川県高座郡寒川町田端１５９０
公開番号: 特開2017-083140
登録番号: 特許第6639867号

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