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革新的なグラフェン製造技術 - 連続性と効率性を兼ね備えたロールツーロール方式

国立研究開発法人産業技術総合研究所

茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)

この技術でできること

フレキシブル基材を使用し、ロールツーロール方式でグラフェン膜を連続製造する特許技術です。

技術の特徴

本特許は、工業量産に適したグラフェン膜の製造方法に関するもので、フレキシブルな基材をロール状で連続的に動かし、グラフェン膜をロールツーロール方式で連続製造する特徴を持っています。また、前記フレキシブルな基材にしわとひずみが発生することを低減するため、成膜ローラを設け、その形状に沿ってノズルを複数配列し、プラズマを生成します。これにより、優れた物性を持つグラフェン膜の製造が可能になります。グラフェンは化学的・物理的に安定しており、高導電性、大電流密度耐性、電子とホールの高移動度、高熱伝導性、高光透過性などの特性から、次世代のエレクトロニクス素材として注目されています。本特許技術は、これらの優れた特性を活かしたエレクトロニクス素材の製造を可能にします。

関連キーワード

グラフェンフレキシブル基材ロールツーロール方式プラズマCVD法エレクトロニクス素材

AIによる特許活用案

おすすめ業界 半導体製造業素材科学エレクトロニクス産業

エレクトロニクス素材の製造

本特許技術を用いて、グラフェン膜を大量に製造することが可能です。このグラフェン膜は、高導電性や高熱伝導性などの特性を持つため、エレクトロニクス素材としての利用が期待されます。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2015-197158
発明の名称
グラフェン膜の作製方法
出願人/権利者
国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所
茨城県つくば市梅園1-1-1 つくば中央第1(産総研内)
公開番号
特開2017-066506
登録番号
特許第6661189号
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