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安定した物理量計測の新たな可能性、光検出によるセンシング装置

国立大学法人九州工業大学

福岡県北九州市戸畑区仙水町1番1号

この技術でできること

被検体の物理量を光検出により安定的に計測するセンシング装置の特許

技術の特徴

本特許は、圧電体に生じる弾性表面波を利用して、被検体の物理量を安定的に計測するセンシング装置に関するものです。具体的には、圧電体に対して弾性表面波が発生し、その進行路の接触位置より下流側に設けられた光反射片が光を反射します。この反射光について、r次回折光及びs次回折光の各強度を計測する光検出手段が備えられています。そして、計測されたr次回折光及びs次回折光の各強度を基に、弾性表面波の振幅が算出され、それを基に被検体の物理量が求められます。電磁波を受信して発生する電気信号を用いずに、被検体の物理量を安定的に計測することが可能になります。

関連キーワード

特許センシング装置物理量計測光検出安定計測

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プロセス管理への応用

製造業では、物理量の安定した計測が必要です。本特許のセンシング装置は製造プロセスの正確な管理に役立ち、品質向上に寄与します。

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号
特願2015-137817
発明の名称
センシング装置
出願人/権利者
国立大学法人九州工業大学
住所
福岡県北九州市戸畑区仙水町1番1号
公開番号
特開2017-020861
登録番号
特許第6598194号
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